A
分析：物质分为混合物和纯净物，混合物是由两种或两种以上的物质组成；纯净物是由一种物质组成．纯净物又分为单质和化合物．由同种元素组成的纯净物叫单质；由两种或两种以上的元素组成的纯净物叫化合物．氧化物是指由两种元素组成的化合物中，其中一种元素是氧元素．臭氧是由一种元素组成的纯净物，属于单质．惰性气体是氦、氖、氩、氪、氙等气体的总称；
解答：A、臭氧是由一种元素组成的纯净物，属于单质，故选项正确；
B、惰性气体是氦、氖、氩、氪、氙等气体的总称，没有臭氧，故选项错误；
C、由两种或两种以上的元素组成的纯净物叫化合物，臭氧中只有一种元素，故选项错误；
D、氧化物是指由两种元素组成的化合物中，其中一种元素是氧元素，臭氧中只有一种元素，故选项错误；
故选A
点评：本考点考查了单质和化合物的判别，要加强记忆混合物、纯净物、单质、化合物、氧化物等基本概念，并能够区分应用．本考点的基础性比较强，主要出现在选择题和填空题中．
