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超细氮化铝(其中氮元素为—3价)粉末被广泛应用于大规模集成电路生产领域。其制取原理为:氧化铝、碳、氮气高温下反应生成氮化铝和一氧化碳,写出制取氮化铝的化学方程式:
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