（2013?朝阳区二模）硅是信息产业、太阳能电池光电转化的基础材料．锌还原四氯化硅是一种有着良好应用前景的制备硅的方法，该制备过程示意如下：

（1）焦炭在过程Ⅰ中作剂．
（2）过程Ⅱ中的Cl₂用电解饱和食盐水制备，制备Cl₂的化学方程式是．
（3）整个制备过程必须严格控制无水．
①SiCl₄遇水剧烈水解生成SiO₂和一种酸，反应的化学方程式是．
②干燥Cl₂时，从有利于充分干燥和操作安全的角度考虑，需将约90℃的潮湿氯气先冷却至12℃，然后再通入到浓H₂SO₄中．冷却的作用是．
（4）Zn还原SiCl₄的反应如下：
反应1：400℃～756℃，SiCl₄（g）+2Zn（l）?Si（s）+2ZnCl₂（l）△H₁＜0
反应2：756℃～907℃，SiCl₄（g）+2Zn（l）?Si（s）+2ZnCl₂（g）△H₂＜0
反应3：907℃～1410℃，SiCl₄（g）+2Zn（g）?Si（s）+2ZnCl₂（g）△H₃＜0
①对于上述三个反应，下列说法合理的是．
a．升高温度会提高SiCl₄的转化率      b．还原过程需在无氧的气氛中进行
c．增大压强能提高反应的速率         d．Na、Mg可以代替Zn还原SiCl₄
②实际制备过程选择“反应3”，选择的理由是．
③已知Zn（l）═Zn（g）△H=+116KJ/mol．若SiCl₄的转化率均为90%，每投入1mol SiCl₄，“反应3”比“反应2”多放出kJ的热量．
（5）用硅制作太阳能电池时，为减弱光在硅表面的反射，采用化学腐蚀法在其表面形成粗糙的多孔硅层．腐蚀剂常用稀HNO₃和HF的混合液．硅表面首先形成SiO₂，最后转化为H₂SiF₆．用化学方程式表示SiO₂转化为H₂SiF₆的过程．