某厂为综合利用生产废料石膏（CaSO₄?2H₂O），设计如下工艺流程制备硫酸和生石灰．
回答下列问题：
（1）窑气中除含有CO₂外，还含有的主要物质是______．
（2）窑气经净化后在氧化、吸收过程中发生反应的化学方程式为______．
（3）回转窑内焦炭与硫酸钙反应的化学方程式为______．
（4）此硫酸产品经处理后得到的超纯硫酸是一种非常有效的清洗剂．一定条件下，它几乎可以除去硅晶片上所有的无机残留物与金属颗粒，除去硅晶片上铜颗粒的化学方程式为______．